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氮化硅是一种很重要的类金刚石氮化物，具有高强度、高硬度、抗氧化、耐腐蚀、抗热震等优良性能。氮化硅的制备方法是在NH3、n2-h2或n2气氛下加热1200~1450℃合成粒径小于10μM的纯硅粉。