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高纯氩还有许多其他的应用。例如，在半导体工业中，高纯氩被用于生产高纯硅和锗晶体的保护气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用；在电子工业中，氩气被用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在焊接保护气中，氩气可以防止焊接件被空气氧化或氮化；在填 充弧光灯、荧光灯和电子管等方面，氩气也有着广泛的应用。