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在20世纪70年代，德国埃森矿业公司成功开发了变压吸附（PSA）制氮技术，使得在常温下进行氮 气分离成为可能。这种技术具有工艺简单、设备紧凑、占地少、启动快、能耗低等优点，因此在中小型制氮领域迅速普及。特别是进入21世纪以来，PSA制氮技术在工业领域的应用越来越广泛，已经成为深冷空分制氮的有效竞争对手。