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氮 气也被用作稀释气体。在半导体电池和电子合金材料等行业中，高纯氮 气被用于电子产品的封装、烧结、退火、还原、储存等环节。

氮 气还可以作为携带气体。在大规模集成电路、彩电显像管液晶以及半导体原件的处理中，高纯氮 气被用于十分重要的氮 气源；在单晶硅、多晶硅与一些外延产业中运用高纯氮 气，不仅能够提高生产效率，还有效提升了产品质量。