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氦气的性质接近理想气体，因此它适用于极低温度下的蒸汽压力计。这种特性使得氦气在温度测量领域有着重要的应用。氦气具有特殊的扩散特性，因此只要使用少量氦气，就可以检测到少量泄漏，甚至可以检测到每3000年仅泄漏1升的微孔。因此，它被广泛应用于高真空机组、核反应堆、航天器等的泄漏检测。