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氩气在半导体工业中用于提供保护气氛，保护半导体元件免受大气中水分、氧气和其他污染物的有害影响。这是氩气在半导体制造工艺中的一个重要作用。半导体芯片制造过程中的保护：在制造所需的硅晶片期间，氩气用于保护在晶片上形成的硅晶体在高温生长过程中不会与氧和氮发生任何潜在的反应。