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高纯气体，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高 于9 9.999%的为高纯气体。而对于氧气，纯度为4个9即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为9 9.99%的即可认为是高纯气体。