氩气和高纯氩检验

其他性质：高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。此外，高纯氩也可作为色谱载气。

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