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N2可用于大规模集成电路、彩电显像管、电视机和收录机元件及半导体元件处理的N2源。在电子元件和半导体元件的生产过程中，需要采用纯度达9 9.999%以上的N2作为保护气体。目前，我国已将高纯氮作为载气和保护气应用于彩电显像管、大规模集成电路、液晶及將体硅片等生产过程。