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在工业领域，超纯氧气因其高纯度和助燃性质而被广泛应用。例如，在冶金工业中，氧气可以与碳、磷、硫、硅等元素起氧化反应，降低钢的含碳量，同时清除杂质，提高钢的质量。在化学工业中，氧气用于原料气的氧化，以强化工艺过程，提高化肥产量。